微電子與集成電路PRODUCT CENTER
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微納電路退火系統(tǒng)RTP150
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微納電路退火機RTP100
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微納電路測量顯微鏡AFM90
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微納電路橢偏測量機ELL100
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微納電路反應(yīng)離子蝕系統(tǒng)RIE150
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微納電路反應(yīng)離子蝕機RIE100
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微納電路離子刻系統(tǒng)IBE150
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微納電路離子刻機IBE100
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微納電路化相淀積系統(tǒng)PECVD200
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微納電路化相淀積機PECVD150
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微納電路原子沉積機ALD150
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微納電路磁濺系統(tǒng)SPU150
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微納電路磁濺機SPU100
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微納電路蒸鍍系統(tǒng)TES150
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微納電路蒸鍍機TES100
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微納電路顯影機uDPM200
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微納電路激光成型機uLCM150
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高精度烘膠機GRM200
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智能烘膠機GRM150
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烘膠臺GRM100
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高精度勻膠機GLM200
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智能勻膠機GLM150
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勻膠臺GLM100
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氧化擴散爐OXF200
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氧化擴散爐OXF150
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