微電子與集成電路PRODUCT CENTER
- 微納電路退火系統(tǒng)RTP150
- 微納電路退火機RTP100
- 微納電路測量顯微鏡AFM90
- 微納電路橢偏測量機ELL100
- 微納電路反應(yīng)離子蝕系統(tǒng)RIE150
- 微納電路反應(yīng)離子蝕機RIE100
- 微納電路離子刻系統(tǒng)IBE150
- 微納電路離子刻機IBE100
- 微納電路化相淀積系統(tǒng)PECVD200
- 微納電路化相淀積機PECVD150
- 微納電路原子沉積機ALD150
- 微納電路磁濺系統(tǒng)SPU150
- 微納電路磁濺機SPU100
- 微納電路蒸鍍系統(tǒng)TES150
- 微納電路蒸鍍機TES100
- 微納電路顯影機uDPM200
- 微納電路激光成型機uLCM150
- 高精度烘膠機GRM200
- 智能烘膠機GRM150
- 烘膠臺GRM100
- 高精度勻膠機GLM200
- 智能勻膠機GLM150
- 勻膠臺GLM100
- 氧化擴散爐OXF200
- 氧化擴散爐OXF150